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T/FJAS 002-2024 湿电子化学品 再生光阻洗净液

范围
本文件规定了再生光阻洗净液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以湿电子化学品行业含光阻洗净液回收液为原料，经过提纯的光阻洗净液再生产物(以下简称产物)，主要用于显示面板制造行业等。

术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
湿电子化学品  wet chemicals
湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节)中使用的各种液体化工材料。
光阻洗净液  Light blocking cleaning solution
光阻去除液、清洗剂，主要成分丙二醇甲醚(笔惭)和丙二醇甲醚醋酸酯(笔惭础)。
回收液  Iiquid recycIing
主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，以及少量其它有机溶剂、光刻胶、水、金属离子等。

技术要求
产物的技术指标应符合表1的要求。


试验方法
水分的测定
按 GB/T 6283 的规定进行测定。
GB/T 6283-2008 化工产物中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用方法)